小體積振鏡特別是基於微機電係統(MEMS)技術製作的微小可驅動反射鏡,具有一係列顯著的特點和應用。

小體積振鏡的工作原理主要依賴於電場的效應。通過改變電場的強弱和方向,可以控製振鏡的位移和角度,從而實現精確的光束控製。
當電場施加在振鏡上時,材料會發生形變,導致鏡片的位置和角度發生微小變化。這種變化會改變光束的方向,實現光束的反射或折射。
小體積振鏡具有哪些基本特性?
尺寸與重量:小體積振鏡的鏡麵直徑通常隻有幾毫米,重量極輕,體積小巧。
材料:振鏡由具有高彈性的金屬或陶瓷片製成,以便能夠振動。
結構:振鏡由一塊平行板構成,其中一麵鍍有反射性材料,稱為反射鏡。在反射鏡後麵,有一塊平板作為參考,其位置可以通過電場進行調控。